کوچنۍ مرحله: WN263TA20H

د سفر لړۍ

20mm

قرارداد

0.125μm

د تکرار وړتیا

＜1μm

نېغ په نېغه

＜2μm

موازي

＜5μm

پچه اچول

۱۰″(50μrad)

ژړل

۱۰″(50μrad)

اعظمي سرعت

5mm/ ثانیه

د بار کولو ظرفیت

10 کیلو ګرامه

وزن

۱.۵ کیلو ګرامه